快速排查晶圆测试探针卡Site间干扰Pin及晶圆测试方法

本发明公开了一种快速排查晶圆测试探针卡Site间干扰Pin及晶圆测试方法，属于晶圆测试领域。晶圆测试时，多Site并行测试常常出现电气干扰。本发明先获取晶圆多Site并测时不稳定的Site号，再从中确认出被干扰Site，进一步排查出干扰源Site。随后，在ATE测试机资源管脚列表中选择一个空闲的数字通道，将干扰源Site的芯片管脚IO Pin依次独立接到空闲的数字通道上，并测被干扰Site和干扰源Site，根据测试结果确认干扰源Site的干扰Pin。确认干扰Pin后，通过屏蔽干扰Pin或软件程序上将干扰源Site单独分组的方式进行晶圆测试。无需重新设计和制作新的高成本的探针卡硬件即可改善测试良率。