摘要
本发明公开了基于微纳光纤耦合器的甲烷传感器及甲烷浓度测量方法,所述甲烷传感器包括从前至后依次连接的宽带光源、传感单元和示波器;所述传感单元包括微纳光纤耦合器、氧化铟涂层和银涂层,所述微纳光纤耦合器的中部从内至外依次设置有银涂层和氧化铟涂层;所述微纳光纤耦合器的一端设置有作为输入端的P1、P2端口,且另一端设置有作为输出端的P3、P4端口;所述微纳光纤耦合器的P1、P2端口连接宽带光源的输出端,P3端口与示波器连接。本发明基于微纳光纤耦合器的光学干涉原理计算甲烷浓度,消除了体积、压力和温度等外界因素的影响。本发明具有体积小、抗外界干扰能力强和抗腐蚀性能好的优点,可以更好地适应多种环境,具有广阔的发展空间,具有较好的实用性。
技术关键词
甲烷传感器
浓度测量方法
氧化铟
宽带光源
微纳光纤耦合器
示波器
银涂层
物理气相沉积技术
非线性回归模型
端口
光学干涉原理
单模光纤
旋涂技术
熔融拉锥
指数
氢氟酸