单模微盘谐振器件及其制备方法和应用

本发明公开了一种单模微盘谐振器件及其制备方法和应用。基于非晶态氧化镓的单模微盘谐振器件包括：用于耦合输入和输出光的光耦合器、半圆滑轮型耦合波导结构和氧化镓微盘谐振腔结构；采用半圆滑轮型耦合波导的设计，通过设计耦合波导的宽度和弯曲半径，使其与微盘之间满足相位匹配条件，实现对微盘中不同径向模式的光进行选择，最终实现单模的输出；同时，通过调控用于刻蚀混合气体比例可以获得较高的非晶氧化镓耦合波导的刻蚀速率、提高耦合波导的侧壁角度以及改善氧化镓耦合波导的表面形貌，本发明也首次开发了非晶态氧化镓耦合波导的制备方法，在集成光子芯片技术领域具有重要的应用价值。