原位集成在谐波减速器上的扭矩传感器、标定装置及方法

本发明属于传感器技术领域，提出了一种原位集成在谐波减速器上的扭矩传感器、标定装置及方法。扭矩传感器集成在谐波减速器柔轮上，包含多个测量敏感栅并且多个测量敏感栅以串联方式连接构成回路。在圆周方向冗余布置多组测量结构，不但可以提高测量的准确程度以及测量灵敏度，还能提高测量的可靠性，当其中一组出现故障，可以利用冗余的测量结构进行测量。扭矩传感器标定装置包括机器人关节、标准扭矩传感器和加载装置；标定过程是在机器人关节上进行的，避免了扭矩传感器安装带来的影响。同时本发明的标定方法将原位测量过程的干扰信号与波发生器位置信息结合起来，有效提高原位集成扭矩传感器的精度。