纳米研磨工艺的自适应控制方法、装置和计算机设备

本发明涉及一种纳米研磨工艺的自适应控制方法、装置和计算机设备，旨在解决材料异质性、工具磨损和环境变化带来的不确定性问题。该方法首先通过纳米压痕技术获取工件材料的纳米级特征数据，并基于这些数据确定起始工艺参数。然后，采用这些参数进行加工并实时监测过程中的磨削和振动数据。通过特征分析和频谱分析，提取和整合工艺状态数据，识别工艺异常和趋势变化，进而生成目标加工参数。自适应控制算法根据目标参数调整起始工艺参数，实现对加工过程的实时优化。