一种采用多目超构表面的激光三角位移测量方法和器件

本发明公开了一种采用多目超构表面的激光三角位移测量方法和器件。首先基于超构表面技术将传统激光三角位移传感器中的发射镜组、接收镜组和滤光片集成为了一体式的多目超构表面模块，该模块可同时实现对出射激光的准直、目标被测物上散射光斑的成像以及滤除环境中非工作波长杂散光的作用，在具备极高的功能集成度的同时，还降低了系统的复杂程度。通过搭建位移标定实验平台，对目标被测物进行扫描，获得目标被测物位移与等效光斑位置间的映射关系，实现激光三角位移测量。本发明的激光三角位移测量器件，系统组成简单，易于装配，整体紧凑小巧，可轻松集成在运动装置上实现高精度扫描，不易发生机械干涉。