红外薄壁光学元件确定性切削补偿加工方法

本发明公开了红外薄壁光学元件确定性切削补偿加工方法，包括以下步骤：S1、工件初始面形获取；通过超精密机床在位测量技术，对待加工的薄壁光学元件初始面形进行测量，获取其面形轮廓ρ(x,y)，依据设计面形轮廓z(x,y)，并计算各坐标位置处的材料去除量Δz(x,y)，Δz(x,y)＝ρ(x,y)‑z(x,y)；S2、装夹应力的弹性变形预测；基于有限元仿真模型，对加工过程中的装夹力分布进行三维空间数值分布模拟，并预测由于装夹应力引起的元件弹性变形ε(x,y)；将这一弹性变形量与初始材料去除量进行综合，得到新的材料去除量z′(x,y)；S3、加工残余应力元件变形预测；S4、非均匀材料去除补偿轨迹的生成；S5、基于慢刀伺服的非均匀切削补偿加工。