一种六方晶格下阴影效应粒子碰撞点轨迹确定方法、设备、介质及产品

本申请公开了一种六方晶格下阴影效应粒子碰撞点轨迹确定方法、设备、介质及产品，涉及干法刻蚀和薄膜沉积表面微观形貌理论模拟领域。本申请基于三维晶格堆叠的层数高度，将六方晶格模型拆分成奇数层晶格单元和偶数层晶格单元；通过对奇偶数层先分开计算再合并比对的方式，解决了相邻奇偶数层间空间位置错位的问题，降低数值化处理难度；通过确定垂线与粒子飞行轨迹线间的垂直距离，实时剔除了六方晶格模型轮廓表面下无碰撞的晶格单元，节约计算量；通过确定投影分量，得到粒子飞行过程中与表面三维形貌的碰撞点，实现碰撞点的高效定位，提高六方晶格下阴影效应粒子碰撞点轨迹确定的效率。