一种单晶硅投料控制方法、装置及存储介质

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一种单晶硅投料控制方法、装置及存储介质
申请号:CN202411610124
申请日期:2024-11-12
公开号:CN119593056A
公开日期:2025-03-11
类型:发明专利
摘要
本发明涉及单晶硅生产技术领域,公开了一种单晶硅投料控制方法、装置及存储介质,其中方法包括如下步骤:获取坩埚中的硅料的液面的实时高度;根据坩埚中的硅料的实时高度和预计投入的硅料量预测投料后的硅料液面高度;判断预测的投料后的硅料液面高度是否会超过预设的安全液面高度,若会超过安全液面高度,则调整投料策略,直至预测的投料后的硅料液面高度不超过安全液面高度;根据投料量与时间的历史关系数据预测坩埚内累计投料量达到预设的坩埚的最大容量的预计时间点;当距离预计时间点的剩余时间小于预设的警戒时长,或者坩埚中硅料的实时高度高于预设的警戒高度时,向操作人员报警和/或停止投料。该方法能避免分批投料量波动导致原料浪费。
技术关键词
投料控制方法 投料控制装置 坩埚 单晶硅 时间序列模型 投料控制系统 液面高度控制 加料装置 预警模块 监测传感器 处理器 存储器 策略 控制模块 报告 通知 软件
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