一种真空吸嘴、键合设备及方法

本发明提供了一种真空吸嘴、键合设备及方法。所述真空吸嘴，其特征在于，包括：本体，其内部设有一空腔，其中，所述空腔的一端连通真空机构，而其另一端对准一带孔的蒙皮，以构成一可形变的吸附部；以及伸缩部，位于所述空腔的内部，并经由其球面的一端挤压所述蒙皮，调节所述吸附部的球面高度，以将待键合件吸附为对应的凸起球面形状。