一种自适应调节的飞秒激光精密加工系统及方法

本发明公开一种自适应调节的飞秒激光精密加工系统及方法，涉及激光应用技术领域，包括：中央控制机构、飞秒激光器、光学调整机构、自适应控制机构、样品位移机构及CCD监控机构。本发明的技术方案利用飞秒激光器发射的光束，经光学调整机构进行光束调整和准直，采用自适应控制方法调节激光器的参数，利用微位移样品台实现复杂结构的微纳制造，并通过显微镜观测制备结果。本发明系统光路简单，采用自动调节激光器的焦点，解决现有飞秒激光对焦调节繁琐操作的技术问题。