日志分析方法、日志分析设备及半导体工艺设备

本申请涉及一种日志分析方法、日志分析设备及半导体工艺设备，日志分析方法包括：响应于针对至少一种业务场景提供的日志分析指令，从预先构建的多个日志模型中，获取与各业务场景一一对应的各日志模式，日志模式用于表征多个日志模型中，位于同一业务场景下的所有日志模型；日志模型是表征日志信息的格式特征的模型；基于各日志模式，对初始日志信息进行分析，从而得到与各业务场景对应的目标日志信息。如此，无需用户耗费大量的时间从海量的初始日志信息中挑选关键信息，即可实现针对各业务场景的日志分析，有效缩短了分析、排查和定位问题的时间，可以帮助用户及时、快速提取到同一业务场景下的关键信息，为分析现场问题提供极大便利。