摘要
本发明公开了一种半导体芯片封装质检检测装置及方法,涉及计算机科学技术领域,该方法包括:质检指标确定模块,用于确定待检半导体的多个预设质检指标;分布概率分析模块,针对各质检指标进行缺陷分布概率分析,生成缺陷概率;抽样检测模块,根据缺陷概率和待检批次产品数量进行抽样检测,生成多个不合格率;补偿融合模块,将不合格率输入并行融合网络进行补偿融合,生成融合不合格率;质检结果生成模块,根据融合不合格率生成最终质检结果。解决了现有半导体芯片质检中全面检测效率低、资源浪费的技术问题,达到了提高半导体芯片封装质检效率、保证了质检准确性的技术效果。
技术关键词
质检检测装置
半导体芯片封装
融合集成模型
指标
微单元
模块
网络
数据
机器学习模型训练
特征关联分析
计算机科学技术
检测模组
样本
采集单元
参数
精度
标记
资源