一种过载异常缺陷检测结果处理方法及系统、设备、介质

本申请涉及半导体芯片制造领域，本申请公开了一种过载异常缺陷检测结果处理方法及系统、设备、介质，本申请首先获取目标物体上的缺陷检测结果，并判断目标物体对应的缺陷检测结果是否过载异常，然后在目标物体对应的缺陷检测结果过载异常时，确定目标物体对应的缺陷检测结果的过载异常类别，并将指定类别的目标物体对应的缺陷分布图和缺陷数量值传输到统计过程控制图表，将确定为其他过载异常类别的目标物体对应的缺陷分布图和缺陷数量值拦截即不传输到统计过程控制图表。本申请的方案提供更加准确的统计工艺过程控制图表供工作人员参考对工艺设备进行停机检查和维修，提高了工艺设备的跑货数，从而降低了芯片的制造时间成本。