芯片对数据库图像比对定位的方法及系统

本发明提供了一种芯片对数据库图像比对定位的方法及系统，属于半导体领域。该芯片对数据库图像比对定位的方法包括提供一GDS原始文件，所述GDS原始文件包括集成电路设计时的原始图形；获取原始图形的关键尺寸，筛选原始图形的关键尺寸分别为第一设定值和第二设定值的图形；对晶圆进行刻蚀，获取刻蚀之后的图形；对刻蚀之后的图形进行量测，获取第一图形和第二图形的关键尺寸的变化量，并基于变化量，获取原始图形的关键尺寸的补偿值。本发明通过内差的方式，获取GDS文件中的图形的关键尺寸补偿值，能够避免晶圆刻蚀后的图像，由于收缩或扩张的大小不同，造成检测机台定位失败。