一种芯片减薄方法

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一种芯片减薄方法
申请号:CN202411636864
申请日期:2024-11-15
公开号:CN119601464A
公开日期:2025-03-11
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种芯片减薄方法,包括提供第一抛磨衬板;将待减薄芯片设置于第一抛磨衬板上;在第一抛磨衬板上设置陪片结构,陪片结构包覆待减薄芯片的四周;将第一抛磨衬板、待减薄芯片以及陪片结构作为减薄过程中的临时组件,对待减薄芯片进行减薄操作;完成减薄操作后,将待减薄芯片与第一抛磨衬板分离。能够减少待减薄芯片在减薄过程中受到的损害,提高成品率。
技术关键词
减薄方法 芯片 电路板 半导体材料 加固结构 通道 液体
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