摘要
本发明涉及一种芯片减薄方法,包括提供第一抛磨衬板;将待减薄芯片设置于第一抛磨衬板上;在第一抛磨衬板上设置陪片结构,陪片结构包覆待减薄芯片的四周;将第一抛磨衬板、待减薄芯片以及陪片结构作为减薄过程中的临时组件,对待减薄芯片进行减薄操作;完成减薄操作后,将待减薄芯片与第一抛磨衬板分离。能够减少待减薄芯片在减薄过程中受到的损害,提高成品率。
技术关键词
减薄方法
芯片
电路板
半导体材料
加固结构
通道
液体
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