一种基于神经网络的外延生长率计算方法及系统

本发明提供了一种基于神经网络的外延生长率计算方法及系统，其中方法包括：采集晶圆外延生长过程中的反射率数据；将所述反射率数据进行预处理，得到输入数据。本发明通过神经网络模型构建反射率数据和折射率值（n）、消光系数值（k）复杂的非线性关系，在神经网络模型输入预处理后的反射率数据，可快速准确得到非线性关系的折射率值（n）和消光系数值（k），依据折射率值（n）和消光系数值（k）计算出晶圆的外延生长率，本发明处理效率高、可实时快速准确地计算外延生长率，并且神经网络模型通过调整训练中的权重参数可适应多种类型的外延生长，具有多工艺通用性，适用范围广。