封装结构的制作方法、封装结构及电子设备

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封装结构的制作方法、封装结构及电子设备
申请号:CN202411640340
申请日期:2024-11-18
公开号:CN119542152A
公开日期:2025-02-28
类型:发明专利
摘要
本申请提供一种封装结构的制作方法、封装结构及电子设备,涉及半导体技术领域,所述方法包括:提供一基板结构;将基板结构设置于第一载板上;对基板结构进行塑封,形成第一塑封层;在第一塑封层远离第一载板的一侧形成第一封装层;移除第一载板;在基板结构远离第一封装层的一侧形成第二封装层;其中,在将基板结构设置于第一载板上的步骤之后,且在移除第一载板的步骤之前,所述方法还包括:对基板结构或第一塑封层或第一封装层进行切割,如此,可以有效减少不同膜层之间由于材料特性不同而产生的应力,从而避免在完成封装后再次切割时产生崩边、裂纹等问题,确保封装结构的稳定性和可靠性。
技术关键词
基板结构 封装结构 绝缘树脂 导电柱 电子设备 载板 衬底 芯片 裂纹 凹槽 通孔 应力
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