一种锑化铟芯片清洗装置及清洗方法

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一种锑化铟芯片清洗装置及清洗方法
申请号:CN202411642058
申请日期:2024-11-18
公开号:CN119542189A
公开日期:2025-02-28
类型:发明专利
摘要
本申请涉及一种锑化铟芯片清洗装置及清洗方法,应用在锑化铟芯片清洗领域,包括壳体,所述壳体内转动连接有转动柱,所述壳体上设有用于驱动转动柱转动的驱动单元,所述转动柱的外缘设有若干放置环,若干所述放置环上分别设有若干用于放置芯片的清洗单元,所述壳体上设有用于喷淋清洗剂的喷淋单元。本申请具有的技术效果是:启动驱动单元,带动转动柱转动,转动柱带动放置环和清洗单元同步转动,启动喷淋单元,向清洗单元内的芯片喷淋清洗剂,从而实现对锑化铟芯片自动清洗的效果,省时省力,减少人工成本,提高了对芯片的清洁效率。
技术关键词
芯片清洗装置 清洗单元 清洗液 清洗方法 残留重金属离子 驱动单元 壳体 清洗剂 海藻酸钠 乙醇 丙酮 省时省力 磷酸 进液管 粉末
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