摘要
本申请涉及一种锑化铟芯片清洗装置及清洗方法,应用在锑化铟芯片清洗领域,包括壳体,所述壳体内转动连接有转动柱,所述壳体上设有用于驱动转动柱转动的驱动单元,所述转动柱的外缘设有若干放置环,若干所述放置环上分别设有若干用于放置芯片的清洗单元,所述壳体上设有用于喷淋清洗剂的喷淋单元。本申请具有的技术效果是:启动驱动单元,带动转动柱转动,转动柱带动放置环和清洗单元同步转动,启动喷淋单元,向清洗单元内的芯片喷淋清洗剂,从而实现对锑化铟芯片自动清洗的效果,省时省力,减少人工成本,提高了对芯片的清洁效率。
技术关键词
芯片清洗装置
清洗单元
清洗液
清洗方法
残留重金属离子
驱动单元
壳体
清洗剂
海藻酸钠
乙醇
丙酮
省时省力
磷酸
进液管
粉末