基于非局部均值滤波和自适应差分的芯片缺陷检测方法

本发明提出了一种基于非局部均值滤波和自适应差分的芯片缺陷检测方法，包括以下步骤：首先通过工业相机收集待测芯片的图像数据，并进行预处理以提升图像质量。随后，计算每个像素的局部熵以动态调整非局部均值滤波的平滑参数，并通过非局部均值滤波进行图像去噪。接着，使用高斯滤波器获取背景图像，并通过差分运算得到差影图像。基于局部频率信息动态调整差分阈值，对差影图像进行二值化处理，提取缺陷区域。最后，通过连通区域分析和轮廓检测，对检测到的缺陷进行标记和分类。本发明通过结合局部熵的自适应非局部均值滤波和基于局部频率的自适应差分阈值法，不仅提高了去噪效果，还显著增强了缺陷检测的准确性和鲁棒性。该方法克服了传统芯片缺陷检测方法在复杂场景下的局限性，为实际工业生产中的芯片质量控制提供了有效的技术支持。