一种低温下高储能BaTiO3铁电薄膜及其方法与应用

本发明涉及薄膜材料制备技术领域，具体提供一种低温下高储能BaTiO3铁电薄膜及其方法与应用。所述BaTiO3铁电薄膜的制备方法包括如下步骤：基体处理、在基体上沉积底电极、在底电极上沉积缓冲层、在缓冲层上沉积钛酸钡介电层、在钛酸钡介电层上沉积顶电极。底电极上沉积缓冲层包括如下步骤：采用LaNiO3靶材，将温度保持在200℃以射频或直流磁控溅射的方式在基体上沉积缓冲层；缓冲层总膜厚为0～50nm。解决了现有技术中200℃下的原位制法制得的钛酸钡薄膜能性能较差，无法满足应用需求以及缓冲层厚度对BaTiO3铁电薄膜性能的调控问题。