工艺监测器的集成电路布局及包括工艺监测器的芯片

本公开内容涉及一种工艺监测器的集成电路布局，包括：信号线；振荡器模块，包括至少一组振荡器单元，每组振荡器单元包括具有相同电路结构的第一振荡器和第二振荡器，第一振荡器和第二振荡器在集成电路布局中相对于它们所处位置之间的中心线镜像对称；以及逻辑模块，经由信号线耦接至振荡器模块并在芯片老化测试模式下启用第一振荡器并禁用第二振荡器，以确定芯片老化程度。通过以镜像对称的方式布置至少一组振荡器，提高了电路匹配度，减少了性能差异，有助于平衡电路参数，维持稳定的直流工作点，从而提高芯片老化测试的准确性。