一种光罩缺陷识别方法

本发明公开了一种光罩缺陷识别方法，属于光罩检测技术领域。该方法包括：S1、获取表面缺陷图像；S2、基于缺陷的成像特点，对表面缺陷图像预处理；S3、对预处理后的表面缺陷图像进行滤波算法修正；S4、对滤波算法修正后的表面缺陷图像进行色度学分析以获取微粒区域；S5、基于缺陷的形态学特征，对微粒区域进行分割得到缺陷孤岛；S6、对缺陷孤岛进行形态学分析以获取缺陷类型和缺陷尺寸。本发明提供的光罩缺陷识别方法，结合形态学和色度学分析方法自动处理表面缺陷图像提取缺陷孤岛，提高了缺陷识别的准确性，摆脱了不同设备成像系统差异的束缚，实现了自动批量处理，节约了量产环节人力、物力投入。