一种氮化镓激光器的制作方法

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一种氮化镓激光器的制作方法
申请号:CN202411650911
申请日期:2024-11-19
公开号:CN119627611A
公开日期:2025-03-14
类型:发明专利
摘要
本发明涉及激光器技术领域,且公开了一种氮化镓激光器的制作方法,包括以下步骤:步骤一、准备和清洗;步骤二、退火处理;步骤三、实时监测;步骤四、预氧化处理;步骤五、组装;步骤六、烧结。本发明通过在步骤二中,采用‑103Pa的真空环境进行退火,这有助于减少氧化和其他气体的影响,降低热应力,防止晶体结构的降解,设置温度为750℃,退火时间为75分钟,能够有效地改善材料的韧性,同时防止过高的温度导致材料的晶体结构损坏,采用分阶段加热,避免温度过高或不均匀加热造成的结构劣化,达到了制备氮化镓激光器退火和预氧化温度适宜不会造成结构劣化的有益效果。
技术关键词
氮化镓激光器 表达式 真空退火炉 应力 烧结件 数据分析工具 氮化镓芯片 实时监测数据 超声波清洗机 激光器技术 高纯石墨 绝缘子 均匀加热 实时数据 控制中心 无杂质 管式炉 基座
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