具备入膜气体温压自调节的SF6/N2混合气体膜分离方法及装置

本发明提供一种具备入膜气体温压自调节的SF6/N2混合气体膜分离方法和装置，包括若干套提纯装置，每套提纯装置包括依次设置的压缩机、加热器和高分子膜，在装置的提纯管路上设置有至少2套提纯装置，每套提纯装置的高分子膜的渗透口都经过设置在渗透管路上的提纯装置连接到提纯管路上的第一套提纯装置的进气口，提纯管路上上的提纯装置出气口的管路上设置SF6纯度检测模块，渗透管路上的提纯装置的出气口设置排放尾气检测模块，根据SF6纯度检测模块和排放尾气检测模块的检测判断来对各个提纯装置的高分子膜的入膜气体温度和压力进行调节，从而使得提纯管路出气口的成品气和渗透管路上出气口的排放尾气符合预先设定的要求。