用于获得样品的3D轮廓的方法和系统

提供了一种用于获得样品的3D轮廓的方法。所述方法包括：从第一计量工具和第二计量工具接收与第一结构参数组和第二结构参数组有关的第一数据集和第二数据集，其中第一结构参数组和第二结构参数组共同地具有至少一个结构参数；分析第一数据集以获得第一结构参数组的值；分析第二数据集以获得第二结构参数组的值，其中针对共同结构特征中的至少一些共同结构参数从对第一数据集的分析获得的值用于约束对第二数据集的分析；以及通过组合在对第一数据集和第二数据集的分析中获得的值来生成样品的3D轮廓。