一种晶圆输送机器人

本申请提供了一种晶圆输送机器人，包括：机器人输送端；取放机构，设置于所述机器人输送端，用于夹持和松开晶圆以及驱动被夹持的所述晶圆自转；翻转机构，设置于所述机器人输送端，用于驱动所述取放机构翻转；检测组件，设置于所述机器人输送端、所述取放机构和/或所述翻转机构，并用于检测被夹持的所述晶圆的缺口位置。此晶圆输送机器人集成了晶圆输送、晶圆对齐和晶圆翻转这三项功能，使得晶圆无需再在相对独立设置的机器人、对齐装置和翻转装置之间进行多次流转，简化了晶圆的流转过程，提高了晶圆的生产效率。