摘要
本发明公开了一种基于可吸附伸缩旋钮式载盘的多端口器件的载片测试方法及系统,吸附伸缩旋钮式载盘包括:载盘、卡槽压条;两个卡槽压条对称且活动分布在载盘正面上,两个卡槽压条中间区域为芯片放置区域,通过可调螺丝旋钮推进芯片卡槽压条,使两个压条向芯片放置区域靠近,夹持待检测模块并固定牢靠。本发明的系统包括矢量网络分析仪、探针、探针台卡盘,可吸附伸缩旋钮式载盘。载盘与探针台卡盘上的“米”字型气孔吸附牢固,通过探针对固定在载盘上的待测模块上的芯片位置进行测试。本发明可以兼容不同尺寸的模块固定,同时可以给探针提供稳定状态,保护探针不受损坏,并且支持多端口器件模块、支持多端口器件模块端口位置为探针和同轴。
技术关键词
探针台
可调螺丝
矢量网络分析仪
卡盘
压条
芯片
卡槽
载盘
测试方法
混频器模块
测试模块
多端口
显微镜
正面
校准
线缆
底盘