一种下镀膜钙钛矿层制备工艺

本发明涉及光伏电池制备技术领域，公开了一种下镀膜钙钛矿层制备工艺，在下界面层制备、钙钛矿层制备、上界面层制备的制备之前，获取FTO玻璃膜面的状态有效值；若FTO玻璃膜面的状态有效值符合预设要求，则进行下镀膜钙钛矿层制备的后续工艺；后续工艺包括蒸镀C60层、SnO2层制备、P2划线、背电极层制备、P3划线和清边；若FTO玻璃膜面的状态有效值不符合预设要求，则对下镀膜钙钛矿层制备的前序工艺循环处理；前序工艺包括玻璃清洗、空穴传输层制备和P1划线与Mark点划刻；其中，下界面层制备、钙钛矿层制备、上界面层制备均采用下镀膜制备设备进行制备，有效保证了下镀膜钙钛矿层制备的良品率。