摘要
本发明公开了一种高性能ic芯片的专用材料制造参数优化方法,涉及集成电路技术领域,包括:采用多级缓存结构对集成电路芯片的整体架构进行优化,并在集成电路芯片表面设置散热鳍片对芯片进行热管理优化;对集成电路芯片的掺杂工艺参数进行优化;优化离子注入与扩散工艺参数组合;优化集成电路芯片的光刻工艺参数;优化集成电路芯片的蚀刻工艺参数;对集成电路芯片内部的时序路径进行分析,输出信号传输延迟最长的路径和时序冲突点;调整集成电路芯片中电路的布局和布线并优化逻辑设计,减少信号传输延迟最长的路径的信号延迟和时序冲突点的时序冲突。通过设计专用的高性能IC芯片,以提供更高的性能和效率。
技术关键词
优化集成电路芯片
参数优化方法
蚀刻工艺参数
信号传输延迟
载流子迁移率
光刻图案
集成电路芯片材料
多级缓存结构
检测集成电路芯片
时序
高性能
半导体
垂直度
信号传输模块
判断集成电路
3价杂质