微波激励汞灯产生UV光的光刻胶固化装置

本发明公开了一种微波激励汞灯产生UV光的光刻胶固化装置，属于半导体芯片制作技术领域，本微波激励汞灯产生UV光的光刻胶固化装置包括：第一壳体，第一壳体呈中空圆柱状，第一壳体内开设有微波腔体；磁控管，磁控管通过波导管与微波腔体连通，磁控管与微波电源连接；反射罩，反射罩呈中空圆台状，反射罩内开设有反射腔，反射腔与微波腔体连通，反射罩下端设置有敞口；汞灯，汞灯吊设在反射墙内，汞灯内部灌装有汞气；控温盘，控温盘正对敞口设置在反射腔下方，控温盘用于放置晶圆并为晶圆的光刻胶层提供适合的固化温度，控温盘上设置有第一测温元件，控温盘根据第一测温元件所检测到的温度对晶圆的温度进行调控。