衬底搬送装置、衬底处理装置及检查方法

本发明涉及一种衬底搬送装置、衬底处理装置及检查方法。本发明具备：取得用手部(11a)，具备：引导部件(32a)，设置于基部件的上表面，供衬底(W)的周缘抵接；传感器(22a)，检测抵接于引导部件(32a)的衬底(W)；引导部件(34a)，设置于基部件(31)的上表面，供衬底(W)的周缘抵接；及传感器(26a)，检测抵接于引导部件(34a)的衬底(W)；以及比较部(41)，基于传感器(22a)检测衬底(W)的时序、与传感器(26a)检测衬底(W)的时序的差异，判定取得用手部(11a)相对于衬底(W)的倾斜状态。