基板支承组件、包括其的基板处理装置和基板处理方法

本发明公开了基板支承组件、包括其的基板处理装置和基板处理方法，基板支承组件可以包括：旋转轴，设置为具有杆结构并能够旋转；支承部，设置为具有从所述杆(bar)结构在垂直方向上凸出延伸的销(pin)结构，以能够与基板背面接触而支承所述基板，所述销结构设置为从包括第一线和第二线的至少两条线中的每一条凸出延伸，所述第一线为从所述杆结构的任一个一侧端部连接到任一个另一侧端部的线，所述第二线为从所述杆结构的另一个一侧端部连接到另一个另一侧端部的线；以及旋转部，设置为使所述旋转轴旋转，以能够使所述至少两条线中的每一条处的销结构与所述基板背面相面对接触。