一种微型气相色谱仪高效分离的微流控芯片

本申请涉及一种微型气相色谱仪高效分离的微流控芯片，该微型气相色谱仪高效分离的微流控芯片包括硅片、位于硅片上方设置有水冷结构以及位于硅片下方设置有加热元件和测温元件，水冷结构采用上述的微纳加工键合工艺制作的，水冷结构采用阳极键合方式与硅片的上方贴合紧密连接。该微型气相色谱仪高效分离的微流控芯片通过在硅片上以键合方式制备水冷结构，在不增加芯片的体积情况下，实现色谱仪在分析完成后通过水冷结构实现应用该微型气相色谱仪高效分离的微流控芯片构成微型色谱柱快速降温，可以大幅缩短在连续分析时降温等待时间，实现功耗降低，解决了现有微型气相色谱仪通过自然冷却的降温方式降低功耗，降温效果不佳导致功耗高的问题。