一种基于电容位移传感器的量程动态自适应闭环校正方法

本发明提供一种基于电容位移传感器的量程动态自适应闭环校正方法，属于位移测量技术领域，包括：设定测量电容测量系统的电容参数初始值；采集最小间距时的电容测量采集系统输出码值，比较输出码值与有效码值上限，根据比较结果修改可调补偿电容值CS1或CS2的大小；采集最大间距时的电容测量系统输出码值，计算输出码值与上一步最终的输出码值之差，根据比较结果修改积分电容值CF的大小；再重新采集最小间距时的电容测量系统输出码值，若此时输出码值超过有效码值上限，则重复上述过程，若再次回到最小间距时输出码值在有效码值上限内，则结束循环，完成标定。本发明能对长寿命工作的电容位移传感器及位移测量量程作自适应校正。