探针针压自动控制装置和晶圆接受测试系统

本申请涉及一种探针针压自动控制装置和晶圆接受测试系统，探针针压自动控制装置包括：图像处理装置，用于获取探针的第一针压调整参数，所述第一针压调整参数包括所述探针的针尖的实时参数；以及控制装置，用于获取所述探针的第二针压调整参数，基于所述第一针压调整参数和所述第二针压调整参数计算得到所述探针的针压调整量，以根据所述针压调整量调整所述探针的针压；其中，所述第二针压调整参数包括针尖的历史参数，所述历史参数包括针尖在出厂和使用过程中的参数。本申请提高了针压调整的准确性，进一步保证晶圆/芯片测试稳定和数据可靠。