掩膜版图像的配准方法、装置、设备、介质及产品

本申请公开了一种掩膜版图像的配准方法、装置、设备、介质及产品，属于图像处理技术领域，该方法包括：获取第一频域特征图像，第一频域特征图像为基于预设的空域频域转换算法对待配准的掩膜版灰度图像进行转换得到的图像；基于预设的亚像素图像配准算法对第一频域特征图像进行处理，确定第一频域特征图像的亚像素配准位移；基于亚像素配准位移对第一频域特征图像进行相位调制，生成的第二频域特征图像；基于预设的频域空域转换算法对第二频域特征图像进行转换，得到配准后的掩膜版灰度图像，通过在频域空间中对图像进行配准，能提升掩膜版图像图像的配置效率。