基于玻璃平板进行光束扫描的面阵探测器简便定焦方法

基于玻璃平行平板进行光束扫描的面阵探测器简便定焦方法，属于光学测量仪器领域。本发明实现方法为：在物镜前放置玻璃平行平板，平行平板与光束垂直，细平行入射光通过玻璃平行平板后经物镜聚焦到探测器上形成光斑，探测器采集得到光斑图像，然后通过质心计算算法得到光斑质心的位置；转动玻璃平行平板，采集玻璃平行平板不同转动角度的光斑图像，判断探测器此时是处于焦前还是焦后；根据光斑质心位置，得到离焦量；通过在探测器安装处增减垫片来完成精确的定焦调整，依据此前判断探测器处于焦前或焦后以及计算出的离焦量决定垫片的增减或者对垫片做适当的磨削，即完成探测器简便定焦。本发明的质心定位精度能够达到百分之一像素的精度。