建模方法

本发明提供一种建模方法，所述方法包括：获取数据源，所述数据源包括光罩相关初始参数、GDS数据及Gauge数据；对所述光罩相关初始参数进行预设置，并设置机台相关参数；对所述光罩相关初始参数进行优化计算以得到光罩优化参数，并进行点光强及Gauge关键尺寸的生成；采用模拟退火算法对所述光罩优化参数、所述点光强及所述Gauge关键尺寸进行优化；输出复杂图形轮廓，并将得到的所述复杂图形轮廓与通过线宽扫描仪采集的图片进行图形叠对处理，以评估二者之间的图形轮廓是否吻合。通过本发明解决了现有的产品的tapeout周期和光罩的交付周期较长的问题。