一种晶圆对准方法及相关装置

本发明涉及一种晶圆对准方法及相关装置，对准方法包括：在晶圆的芯片中选取合适的对准标记建立工作菜单，并记录所述对准标记的位置，记录所述芯片的尺寸；使用预对准器对晶圆执行预对准，将所述晶圆放置到卡盘上，并记录所述晶圆的目标角度；执行晶圆的粗略对准；执行晶圆的精细对准。本发明提供的晶圆对准方法及相关装置，通过对晶圆进行粗略对准，提高后续精确对准步骤中的对准标记搜索效率；通过晶圆远端的对准标记执行精确对准，提高晶圆的对准精度。