一种晶圆级集成结构及其制作方法

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一种晶圆级集成结构及其制作方法
申请号:CN202411689048
申请日期:2024-11-25
公开号:CN119581428A
公开日期:2025-03-07
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种晶圆级集成结构及其制作方法,晶圆级集成结构包括:有机基板、芯片单元层、导电凸起层及器件模组层。有机基板包括依次层叠设置的第一重布线层、有机晶圆主体和第二重布线层;有机晶圆主体包括多个有机通孔;第一重布线层与第二重布线层通过有机通孔电连接;芯片单元层位于第一重布线层远离有机晶圆主体的一侧,且与第一重布线层电连接;芯片单元层包括多个半导体芯片;导电凸起层位于第二重布线层远离有机晶圆主体的一侧,且与第二重布线层电连接;器件模组层位于导电凸起层远离第二重布线层的一侧,且与导电凸起层电连接。本发明提供了一种晶圆级集成结构及其制作方法,可以提高晶圆级集成结构的带宽,也可以减少通信路径。
技术关键词
布线 晶圆 电源模组 半导体芯片 基板 高速连接器 导电 散热层 存储芯片 无源器件 层叠 通孔 电容 电阻
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