摘要
本发明公开了一种晶圆级集成结构及其制作方法,晶圆级集成结构包括:有机基板、芯片单元层、导电凸起层及器件模组层。有机基板包括依次层叠设置的第一重布线层、有机晶圆主体和第二重布线层;有机晶圆主体包括多个有机通孔;第一重布线层与第二重布线层通过有机通孔电连接;芯片单元层位于第一重布线层远离有机晶圆主体的一侧,且与第一重布线层电连接;芯片单元层包括多个半导体芯片;导电凸起层位于第二重布线层远离有机晶圆主体的一侧,且与第二重布线层电连接;器件模组层位于导电凸起层远离第二重布线层的一侧,且与导电凸起层电连接。本发明提供了一种晶圆级集成结构及其制作方法,可以提高晶圆级集成结构的带宽,也可以减少通信路径。
技术关键词
布线
晶圆
电源模组
半导体芯片
基板
高速连接器
导电
散热层
存储芯片
无源器件
层叠
通孔
电容
电阻