功率器件的功率循环测试方法

本申请提供了一种功率器件的功率循环测试方法，包括：对待测功率器件进行初始检测，得到初始阈值电压，并对待测功率器件进行功率循环测试；在一次功率循环中待测功率器件关断且待测功率器件结温降至预设温度条件的情况下，检测得到待测功率器件的测试阈值电压，并根据初始阈值电压和测试阈值电压计算得到阈值电压变化率，并根据阈值电压变化率的大小判断待测功率器件是否老化失效。该方法实时校准功率循环过程中采集的特性参数，根据参数偏移值判定芯片是否发生失效及封装失效，在功率循环关断过程中对阈值电压进行精确测试，进而校准在线采集的导通压降，实现碳化硅芯片可靠性和封装可靠性的同步在线监测。