一种自动化制备微纳复合结构芯片流水线

本发明属于芯片制备设备技术领域，具体的说是一种自动化制备微纳复合结构芯片流水线，包括反应设备，且反应设备内安装带有夹持组件的转移装置、控制模块和视觉模块；所述反应设备包括反应器，所述反应器均匀安装于反应设备顶部；通过湿法清洗和干法清洁之间的配合，增加芯片清洁措施的同时，提高清洁效果；另外，在芯片湿法清洗完成上升过程中，还会再次经历上述干法清洁，然后，通过喷气组件将芯片上的清洗溶液吹走，并利用清洗溶液被吹走的效果，再次对芯片进行清洁，提高清洁效果；而且，喷漆组件喷出设定温度的清洗气体，还能够加快芯片的干燥和清洗溶液的挥发，减少清洗所花费的时间，提高芯片制备的效率。