一种基于微柱增强结构的六维力测量装置

本发明涉及机器人外力感知技术领域，具体为一种基于微柱增强结构的六维力测量装置，解决了现有六维力测量传感器在测量时，容易产生干扰信号导致测量精度低的技术问题，其上盖、下盖、筒状外壳、上支撑弹性体和下支撑弹性体，上、下支撑弹性体均包括同心设置的外支撑环和内支撑环，外支撑环和内支撑环之间设有悬臂梁，悬臂梁开有一个水平槽位和两个竖直槽位，水平槽位的槽底上布置有微柱阵列，水平槽位用于放置X切型声表面波压电晶体片，两个竖直槽位用于放置Y切型声表面波压电晶体片，上支撑弹性体和下支撑弹性体固定连接。微柱结构的合理设计可以避免不必要的机械共振与晶体片的谐振频率耦合，从而保证传感器的频率响应稳定。