用于工艺节点之间的质量指标对齐方法、系统及电子设备

本申请涉及工艺指标技术领域，公开了一种用于工艺节点之间的质量指标对齐方法、系统及电子设备。本申请通过工艺时长函数对初始工艺节点和目标工艺节点之间的采样数据进行计算，得到备选质量指标，并通过指标预测模型根据初始工艺节点对应的初始质量指标进行预测，得到预测质量指标，以基于备选质量指标和预测质量指标之间的差异性对工艺时长函数进行更新，从而根据更新后的标对齐模型输出初始质量指标对应的目标质量指标，从而通过对工艺时长函数进行更新消除备选质量指标和预测质量指标之间的差异性，将更新后的指标对齐模型得到对齐后的目标质量指标，从而大大提高质量指标的对齐准确性，准确反映工艺节点的生产状况。