用于监测周期性制造过程的方法和装置

本发明涉及一种用于监测具有多个周期的周期性制造过程的方法，在每个周期制造至少一个单件产品；其中，在第一方法步骤中，针对至少一个周期，自动提供制造过程的传感器数据的至少一个时间序列，该传感器数据与制造过程的稳定性和异常存在效应关系；在第二方法步骤中，针对该周期确定制造过程的稳定性，在制造过程稳定时将传感器数据标记为稳定传感器数据；在第三方法步骤中，将稳定传感器数据自动降维到点数据；在第四方法步骤中，自动形成点数据的密度分布，该密度分布具有点数据的至少一个稳定区域和点数据的至少一个异常区域，并且异常区域中的点数据对应于制造过程的异常。