一种柔性多值氧化铪基铁电电容器及其制备方法、应用

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一种柔性多值氧化铪基铁电电容器及其制备方法、应用
申请号:CN202411695739
申请日期:2024-11-25
公开号:CN119562530B
公开日期:2025-11-11
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种柔性多值氧化铪基铁电电容器及其制备方法,在弯曲变形状态下仍具有稳定的铁电性,能实现32个存储状态,不仅满足存储池计算对多值存储的需求,还有效解决铁电材料在可穿戴领域应变下难以保持稳定性的难题。
技术关键词
电电容器 氧化铪 柔性 氩气流量 沉积氧化物薄膜 存储池 原子层沉积 去离子水 缓冲层 基底 上电极 聚对苯二甲酸乙二醇 介质 层厚度 递归神经网络 弯曲 聚二甲基硅氧烷 热塑性聚氨酯 氮气
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