一种柔性多值氧化铪基铁电电容器及其制备方法、应用
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一种柔性多值氧化铪基铁电电容器及其制备方法、应用
申请号:
CN202411695739
申请日期:
2024-11-25
公开号:
CN119562530B
公开日期:
2025-11-11
类型:
发明专利
摘要
本发明公开了一种柔性多值氧化铪基铁电电容器及其制备方法,在弯曲变形状态下仍具有稳定的铁电性,能实现32个存储状态,不仅满足存储池计算对多值存储的需求,还有效解决铁电材料在可穿戴领域应变下难以保持稳定性的难题。
技术关键词
电电容器
氧化铪
柔性
氩气流量
沉积氧化物薄膜
存储池
原子层沉积
去离子水
缓冲层
基底
上电极
聚对苯二甲酸乙二醇
介质
层厚度
递归神经网络
弯曲
聚二甲基硅氧烷
热塑性聚氨酯
氮气
沪ICP备2023015588号