半导体器件及其制备方法、芯片、电子设备

AITNT
正文
推荐专利
半导体器件及其制备方法、芯片、电子设备
申请号:CN202411696029
申请日期:2024-11-25
公开号:CN119208266B
公开日期:2025-04-29
类型:发明专利
摘要
本公开提供了一种半导体器件及其制备方法、芯片、电子设备,涉及半导体技术领域,旨在提高半导体器件的性能,所述半导体器件包括衬底、盖帽层、栅极层、保护层、源极和漏极,盖帽层设置于所述衬底的一侧,栅极层设置于所述盖帽层远离所述衬底的一侧,保护层至少位于所述栅极层在第一方向上的相对两侧,且设置于所述盖帽层远离所述衬底的一侧,所述第一方向平行于所述衬底,源极和漏极沿所述第一方向位于所述盖帽层的相对两侧。上述半导体器件应用于芯片中。
技术关键词
半导体器件 盖帽层 衬底 栅极 湿法刻蚀工艺 P型杂质 干法刻蚀工艺 芯片 界面陷阱 电子设备 氧化铝 电路板 氮化铝 尺寸 氮化硅 氧化硅 元素 原位 密度
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号