摘要
本公开提供了一种半导体器件及其制备方法、芯片、电子设备,涉及半导体技术领域,旨在提高半导体器件的性能,所述半导体器件包括衬底、盖帽层、栅极层、保护层、源极和漏极,盖帽层设置于所述衬底的一侧,栅极层设置于所述盖帽层远离所述衬底的一侧,保护层至少位于所述栅极层在第一方向上的相对两侧,且设置于所述盖帽层远离所述衬底的一侧,所述第一方向平行于所述衬底,源极和漏极沿所述第一方向位于所述盖帽层的相对两侧。上述半导体器件应用于芯片中。
技术关键词
半导体器件
盖帽层
衬底
栅极
湿法刻蚀工艺
P型杂质
干法刻蚀工艺
芯片
界面陷阱
电子设备
氧化铝
电路板
氮化铝
尺寸
氮化硅
氧化硅
元素
原位
密度