基板搬送装置、基板处理装置及示教方法
申请号：CN202411700094
申请日期：2024-11-26
公开号：CN120072725A
公开日期：2025-05-30
类型：发明专利
摘要
本发明涉及基板搬送装置、基板处理装置及示教方法。根据本发明，夹持基板(W)的外周面的三个可动引导件(67)设于转位模块(5)的第1手部(19)。第1手部(19)在设为基板(W)处于初始的设定位置而使第1手部(19)与基板(W)接近后，使可动引导件(67)与基板(W)抵接。基于各可动引导件(67)与基板(W)抵接时的各可动引导件(67)的位置关系，计算出基板(W)的中心点的位置，该中心点的位置作为新的设定位置被存储于存储部。
技术关键词
基板搬送装置
触觉传感器
基板载置部
叶片
姿势
编码器
关系
检测器
电路
收入
电机
模块
