一种基于穿透基底准直光栅的光芯片-光纤耦合器

本发明公开了一种基于穿透基底准直光栅的光芯片‑光纤耦合器，属于光电芯片的技术领域，包括基板，基板上设置有一个倒装的光芯片，光芯片内包括至少一个光器件、一个实现输入与输出的光波导阵列和一个准直光栅阵列，准直光栅阵列设置有渐变的周期和占空比使得从光波导阵列输出的光经过准直光栅阵列向基底衍射，以基本准直的光传播到光芯片背面，在光芯片背面对应于准直光栅阵列出射光的位置设置有光耦合元件阵列将光耦合到一个光纤阵列。本发明采用上述结构，实现了光芯片与光纤阵列的高效率耦合，相比普通光栅耦合器和边缘耦合器有更高的耦合效率和对准容差，更容易制作，可广泛应用于大规模光电集成芯片的光IO、光电合封(CPO)等领域。